累积OEM电容板
定制高精度OEM解决方案，用于微定位和反馈控制应用。
累积微叠是一个紧凑的定制设计的OEM电容板，可用于高精度的非接触式位移，厚度和间隙测量。AcculaSureTM Microcap电容板允许快速部署OEM，需要定制测量解决方案，用于微定位，热校正，聚焦和闭环控制应用。
| Microcap和AS-563-PA | AS-562-PA | |
| 对于基础目标 使用单端探头 |
对于未接地的目标 使用推/拉探针 |
- 船上抵消和增益调整
- 需要+/- 15VDC电源
- 可根据大型多通道应用程序定制
- 板可以同步
| 产品信息 | 技术规格 | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| P / N. | 模型 | 测量范围 | 准确性 | 分钟。范围 | 脱扣 | 解析度 | 类型 | 频率响应 | 请求信息 | |||
| 8000-4303-001. | 接地目标探针模块：AS-563-PA | 选择探针 | 0.02％FSR RMS | 25μm/ 1mil. | 25mm（0.98英寸） | 0.000075％/√HzFSR RMS | 插件ModuleOEM板 | 从10Hz到5kHz的过滤器 | 请求信息接地目标探头模块：AS-563-PA | |||
| 8000-4304-001. | 未接地的目标探头模块：AS-562-PA | 选择探针 | 0.02％FSR RMS | 25μm/ 1mil. | 25mm（0.98英寸） | 0.000075％/√HzFSR RMS | 插件ModuleOEM板 | 从10Hz到5kHz的过滤器 | 请求有关未处理目标探测模块的信息：AS-562-PA | |||
| 8000-6508. | AS-Microcap OEM放大器板 | 选择探针 | 0.02％FSR RMS | 25μm/ 1mil. | 25mm（0.98英寸） | 0.000075％/√HzFSR RMS | OEM板 | 请求有关AS-Microcap OEM放大器板的信息 | ||||
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| 行业 | 测量类型 | 应用程序 |
|---|---|---|
| 半导体 | 定位 | 使用电容传感器的光刻法 |
| 半导体 | 定位 | 光刻光学位置焦点 |
| 半导体 | 水平 | 引线键合 |
| 半导体 | 计量 | 晶圆测量 - 未接地 |
| 半导体 | 表面 | 晶圆厚度，弓，经纱和TTV |
| 半导体 | 表面 | 切片和抛光后晶圆QA / QC |
| 消费类电子产品 | 定位 | 压电舞台 |
| 汽车 | 距离 | 主轴跳动 |
| 汽车 | 表面 | 研磨过程 |
| 汽车 | 水平 | 油膜 |
| 汽车 | 表面 | 制动转子厚度变化 |
| 汽车 | 公差 | 挡风玻璃制造业 |
| 半导体 | 移位 | LED基板蓝宝石厚度 |
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配件
| P / N. | 图片 | 模型 | 产品描述 |
|---|---|---|---|
| 8000-6893-410 |  |
SMA（F）到MCX（M） | 1米 |
| 8000-6893-424 |  |
SMA（F）到MCX（M） | 2.5米 |
| 8000-6893-430 |  |
SMA（F）到MCX（M） | 3米 |
| 8000-6893-450 |  |
SMA（F）到MCX（M） | 5米 |
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